METHODS FOR FABRICATING INTERCONNECT STRUCTURES HAVING LOW K DIELECTRIC PROPERTIES,申请号EP20020796038-传众专利搜索

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发明名称	METHODS FOR FABRICATING INTERCONNECT STRUCTURES HAVING LOW K DIELECTRIC PROPERTIES
摘要
申请公布号	EP1459373(A1)	申请公布日期	2004.09.22
申请号	EP20020796038	申请日期	2002.12.26
申请人	LAM RESEARCH CORPORATION	发明人	GOTKIS, YEHIEL;KISTLER, RODNEY;ROMM, LEONID;LIN, TE HUA
分类号	H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/476	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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