双轴柔性静平衡仪

摘要

本发明公开了一种双轴柔性静平衡仪，其上部是支撑防风防尘单元(1)，下部是隔振平台(10)，支撑防风防尘单元(1)的内部放置有配平调节A单元(2)、配平调节B单元(3)、双轴柔性转动单元(4)、机械限位单元(5)、工作平台A驱动单元(6A)、工作平台B驱动单元(6B)、传感单元(7)、套筒底座组件(8)、工作平台(9A)和L形支架(9B)；该双轴柔性静平衡仪能够对被测工件的一次运动同时检测出X轴和Y轴的不平衡量。本发明采用了柔性精密转动单元和非接触驱动相结合的手段，实现了不平衡力矩的测量。

主权项

一种双轴柔性静平衡仪，其特征在于：其包括有支撑防风防尘单元(1)、配平调节A单元(2)、配平调节B单元(3)、双轴柔性转动单元(4)、机械限位单元(5)、工作平台A驱动单元(6A)、工作平台B驱动单元(6B)、传感单元(7)、套筒底座组件(8)、工作平台(9A)、L形支架(9B)；工作平台(9A)上安装有L形支架(9B)，L形支架(9B)上安装有万向架(20)，万向架(20)上安装被测工件；其中，配平调节A单元(2)与配平调节B单元(3)的结构相同；工作平台A驱动单元(6A)与工作平台B驱动单元(6B)的结构相同；支撑防风防尘单元(1)由防风罩(1A)、围板(1B)、圆环体(1C)、A支撑组件(1D)、B支撑组件(1E)、C支撑组件(1F)、D支撑组件(1G)、E支撑组件(1H)组成；防风罩(1A)通过合页(1C6)与圆环体(1C)的合页接口(1C5)固定，围板(1B)通过螺钉固定在立柱(1D1、1E1、1F1、1G1)上；A支撑组件(1D)由A立柱(1D1)、上A三角块(1D2)、上B三角块(1D3)、下A三角块(1D4)、下B三角块(1D5)、下C三角块(1D6)和A下底块(1D7)组成；A立柱(1D1)的上端端面通过DA螺钉(1D1A)与圆环体(1C)固定；A立柱(1D1)的上端通过螺钉与上A三角块(1D2)和上B三角块(1D3)的一角边固定，A立柱(1D1)的下端通过螺钉与下A三角块(1D4)、下B三角块(1D5)和下C三角块(1D6)的一角边固定；上A三角块(1D2)和上B三角块(1D3)的另一角边通过螺钉与圆环体(1C)固定；下A三角块(1D4)、下B三角块(1D5)和下C三角块(1D6)的另一角边通过螺钉与A底块(1D7)固定，且A底块(1D7)通过DN螺钉(1D7A)与隔振平台(10)的上面板固定；上A三角块(1D2)与上B三角块(1D3)的一个角边相对设置，且上A三角块(1D2)与上B三角块(1D3)之间放置A立柱(1D1)的上端；上A三角块(1D2)的一角边通过DE螺钉固定在A立柱(1D1)上端的一侧板面上，上A三角块(1D2)的另一角边通过DD螺钉(1D2A)固定在圆环体(1C)上；上B三角块(1D3)的一角边通过DG螺钉(1D3B)固定在A立柱(1D1)上端的另一侧板面上，上B三角块(1D3)的另一角边通过DF螺钉(1D3A)固定在圆环体(1C)上；DA螺钉(1D1A)穿过圆环体(1C)上A沉头通孔(1C1)后螺纹连接在A立柱(1D1)的上端端面的BA螺纹孔(1D1C)中；DB螺钉(1D1B)穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在A立柱(1D1)的凹槽内；下A三角块(1D4)与下B三角块(1D5)的一个角边相对设置，且下A三角块(1D4)与下B三角块(1D5)之间放置A立柱(1D1)的下端；下A三角块(1D4)的一角边通过DI螺钉固定在A立柱(1D1)下端的一侧板面上，下A三角块(1D4)的另一角边通过DH螺钉固定在A底块(1D7)上；下B三角块(1D5)的一角边通过DK螺钉(1D5B)固定在A立柱(1D1)下端的另一侧板面上，下B三角块(1D5)的另一角边通过DJ螺钉(1D5A)固定在A底块(1D7)上；下C三角块(1D6)的一角边通过DM螺钉固定在A立柱(1D1)下端的另一侧板面上，下C三角块(1D6)的另一角边通过DL螺钉固定在A底块(1D7)上；A底块(1D7)通过DN螺钉(1D7A)实现与隔振平台(10)的固定；DC螺钉(1D1D)穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在立柱(1D1)的凹槽内；B支撑组件(1E)由B立柱(1E1)、上D三角块(1E2)、上E三角块(1E3)、下D三角块(1E4)、下E三角块(1E5)、下F三角块(1E6)和B底块(1E7)组成；B立柱(1E1)的上端端面通过EA螺钉(1E1A)与圆环体(1C)固定；B立柱(1E1)的上端通过螺钉与上A三角块(1E2)和上B三角块(1E3)的一角边固定，B立柱(1E1)的下端通过螺钉与下A三角块(1E4)、下B三角块(1E5)和下C三角块(1E6)的一角边固定；上A三角块(1E2)和上B三角块(1E3)的另一角边通过螺钉与圆环体(1C)固定；下A三角块(1E4)、下B三角块(1E5)和下C三角块(1E6)的另一角边通过螺钉与B底块(1E7)固定，且B底块(1E7)通过EN螺钉(1E7A)与隔振平台(10)的上面板固定；上A三角块(1E2)与上B三角块(1E3)的一个角边相对设置，且上A三角块(1E2)与上B三角块(1E3)之间放置B立柱(1E1)的上端；上A三角块(1E2)的一角边通过EE螺钉(1E2B)固定在B立柱(1E1)上端的一侧板面上，上A三角块(1E2)的另一角边通过ED螺钉(1E2A)固定在圆环体(1C)上；上B三角块(1E3)的一角边通过EG螺钉(1E3B)固定在B立柱(1E1)上端的另一侧板面上，上B三角块(1E3)的另一角边通过EF螺钉(1E3A)固定在圆环体(1C)上；EA螺钉(1E1A)穿过圆环体(1C)上A沉头通孔(1C1)后螺纹连接在B立柱(1E1)的上端端面的BB螺纹孔(1E1C)中；EB螺钉(1E1B)穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在立柱(1E1)的凹槽内；下A三角块(1E4)与下B三角块(1E5)的一个角边相对设置，且下A三角块(1E4)与下B三角块(1E5)之间放置B立柱(1E1)的下端；下A三角块(1E4)的一角边通过EH螺钉(1E4A)固定在B立柱(1E1)下端的一侧板面上，下A三角块(1E4)的另一角边通过EI螺钉(1E4B)固定在B底块(1E7)上；下B三角块(1E5)的一角边通过EK螺钉(1E5B)固定在B立柱(1E1)下端的另一侧板面上，下B三角块(1E5)的另一角边通过EJ螺钉(1E5A)固定在B底块(1E7)上；下C三角块(1E6)的一角边通过EL螺钉(1E6A)固定在B立柱(1E1)下端的另一侧板面上，下C三角块(1E6)的另一角边通过EM螺钉固定在B底块(1E7)上；B底块(1E7)通过EN螺钉(1E7A)实现与隔振平台(10)的固定；EC螺钉(1E1D)穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在B立柱(1E1)的凹槽内；C支撑组件(1F)由C立柱(1F1)、上G三角块(1F2)、上H三角块(1F3)、下G三角块(1F4)、下H三角块(1F5)、下I三角块(1F6)和C底块(1F7)组成；C立柱(1F1)的上端端面通过FA螺钉(1F1A)与圆环体(1C)固定；C立柱(1F1)的上端通过螺钉与上G三角块(1F2)和上H三角块(1F3)的一角边固定，C立柱(1F1)的下端通过螺钉与下G三角块(1F4)、下H三角块(1F5)和下I三角块(1F6)的一角边固定；上G三角块(1F2)和上B三角块(1F3)的另一角边通过螺钉与圆环体(1C)固定；下G三角块(1F4)、下H三角块(1F5)和下I三角块(1F6)的另一角边通过螺钉与C底块(1F7)固定，且C底块(1F7)通过FN螺钉(1F7A)与隔振平台(10)的上面板固定；上G三角块(1F2)与上H三角块(1F3)的一个角边相对设置，且上G三角块(1F2)与上H三角块(1F3)之间放置C立柱(1F1)的上端；上G三角块(1F2)的一角边通过FE螺钉(1F2B)固定在C立柱(1F1)上端的一侧板面上，上G三角块(1F2)的另一角边通过FD螺钉(1F2A)固定在圆环体(1C)上；上H三角块(1F3)的一角边通过FG螺钉固定在C立柱(1F1)上端的另一侧板面上，上H三角块(1F3)的另一角边通过FF螺钉(1F3A)固定在圆环体(1C)上；FA螺钉(1F1A)穿过圆环体(1C)上A沉头通孔(1C1)后螺纹连接在C立柱(1F1)的上端端面的BC螺纹孔(1F1C)中；FB螺钉穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在C立柱(1F1)的凹槽内；下G三角块(1F4)与下H三角块(1F5)的一个角边相对设置，且下G三角块(1F4)与下H三角块(1F5)之间放置C立柱(1F1)的下端；下G三角块(1F4)的一角边通过FH螺钉(1F4A)固定在C立柱(1F1)下端的一侧板面上，下G三角块(1F4)的另一角边通过FI螺钉(1F4B)固定在C底块(1F7)上；下H三角块(1F5)的一角边通过FJ螺钉固定在C立柱(1F1)下端的另一侧板面上，下B三角块(1F5)的另一角边通过FK螺钉固定在C底块(1F7)上；下I三角块(1F6)的一角边通过FM螺钉(1F6A)固定在C立柱(1F1)下端的另一侧板面上，下C三角块(1F6)的另一角边通过FM螺钉(1F6B)固定在C底块(1F7)上；C底块(1F7)通过FN螺钉(1F7A)实现与隔振平台(10)的固定；FC螺钉穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在C立柱(1F1)的凹槽内；D支撑组件(1G)由D立柱(1G1)、上J三角块(1G2)、上K三角块(1G3)、下J三角块(1G4)、下K三角块(1G5)、下L三角块(1G6)和D底块(1G7)组成；D立柱(1G1)的上端端面通过GA螺钉(1G1A)与圆环体(1C)固定；D立柱(1G1)的上端通过螺钉与上J三角块(1G2)和上K三角块(1G3)的一角边固定，D立柱(1G1)的下端通过螺钉与下J三角块(1G4)、下K三角块(1G5)和下L三角块(1G6)的一角边固定；上J三角块(1G2)和上K三角块(1G3)的另一角边通过螺钉与圆环体(1C)固定；下J三角块(1G4)、下K三角块(1G5)和下L三角块(1G6)的另一角边通过螺钉与D底块(1G7)固定，且D底块(1G7)通过GN螺纹(1G7A)与隔振平台(10)的上面板固定；上J三角块(1G2)与上K三角块(1G3)的一个角边相对设置，且上J三角块(1G2)与上K三角块(1G3)之间放置D立柱(1G1)的上端；上J三角块(1G2)的一角边通过GE螺钉(1G2B)固定在D立柱(1G1)上端的一侧板面上，上J三角块(1G2)的另一角边通过GD螺钉(1G2A)固定在圆环体(1C)上；上K三角块(1G3)的一角边通过GG螺钉(1G3B)固定在D立柱(1G1)上端的另一侧板面上，上K三角块(1G3)的另一角边通过GF螺钉(1G3A)固定在圆环体(1C)上；GA螺钉(1G1A)穿过圆环体(1C)上A沉头通孔(1C1)后螺纹连接在D立柱(1G1)的上端端面的BD螺纹孔(1G1C)中；GB螺钉(1G1B)穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在D立柱(1G1)的凹槽内；下J三角块(1G4)与下K三角块(1G5)的一个角边相对设置，且下J三角块(1G4)与下K三角块(1G5)之间放置D立柱(1G1)的下端；下J三角块(1G4)的一角边通过GH螺钉(1G4A)固定在D立柱(1G1)下端的一侧板面上，下J三角块(1G4)的另一角边通过GI螺钉(1G4B)固定在D底块(1G7)上；下K三角块(1G5)的一角边通过GJ螺钉(1G5A)固定在D立柱(1G1)下端的另一侧板面上，下K三角块(1G5)的另一角边通过GK螺钉(1G5B)固定在D底块(1G7)上；下L三角块(1G6)的一角边通过GL螺钉(1G6A)固定在D立柱(1G1)下端的另一侧板面上，下L三角块(1G6)的另一角边通过GM螺钉(1G6B)固定在D底块(1G7)上；D底块(1G7)通过GN螺钉(1G7A)实现与隔振平台(10)的固定；GC螺钉穿过围板(1B)上的通孔后螺纹连接一螺母，该螺母卡合在D立柱(1G1)的凹槽内；E支撑组件(1H)由E立柱(1H1)、横柱(1H8)、上M三角块(1H2)、上N三角块(1H3)、下M三角块(1H4)、下N三角块(1H5)和E底块(1H7)组成；E立柱(1H1)的上端端面通过HA螺钉(1H1A)与横柱(1H8)固定，横柱(1H8)另一面与圆环体(1C)的下面固定，圆环体(1C)的合页接口(1C5)上固定合页(1C6)的一页边，合页(1C6)的另一页边固定有防风罩；E立柱(1H1)的上端通过螺钉与上M三角块(1H2)和上N三角块(1H3)的一角边固定，E立柱(1H1)的下端通过螺钉与下M三角块(1H4)与下N三角块(1H5)的一角边固定；上M三角块(1H2)和上N三角块(1H3)的另一角边通过螺钉与横柱(1H8)固定；下M三角块(1H4)和下N三角块(1H5)的另一角边通过螺钉与E底块(1H7)固定，且E底块(1H7)通过HN螺钉(1H7A)与隔振平台(10)的上面板固定；上M三角块(1H2)与上N三角块(1H3)的一个角边相对设置，且上M三角块(1H2)与上N三角块(1H3)之间放置E立柱(1H1)的上端；上M三角块(1H2)的一角边通过HE螺钉(1H2B)固定在E立柱(1H1)上端的一侧板面上，上M三角块(1H2)的另一角边通过HD螺钉固定在横柱(1H8)上；上N三角块(1H3)的一角边通过HG螺钉(1H3B)固定在E立柱(1H1)上端的另一侧板面上，上N三角块(1H3)的另一角边通过HF螺钉固定在横柱(1H8)上；HA螺钉(1H1A)穿过横柱(1H8)上的通孔后螺纹连接在D立柱(1H1)的上端端面的BE螺纹孔(1H1C)中；下M三角块(1H4)与下N三角块(1H5)的一个角边相对设置，且下M三角块(1H4)与下N三角块(1H5)之间放置E立柱(1H1)的下端；下M三角块(1H4)的一角边通过HH螺钉(1H4A)固定在E立柱(1H1)下端的一侧板面上，下M三角块(1H4)的另一角边通过HI螺钉(1H4B)固定在E底块(1H7)上；下N三角块(1H5)的一角边通过HJ螺钉(1H5A)固定在E立柱(1H1)下端的另一侧板面上，下N三角块(1H5)的另一角边通过GK螺钉固定在D底块(1H7)上；D底块(1H7)通过HN螺钉(1H7A)实现与隔振平台(10)的固定；配平调节A单元(2)由A螺纹杆(2A)、A配重块(2B)、A支臂(2C)和B支臂(2D)组成；A配重块(2B)的中心设有螺纹通孔，该螺纹通孔用于A螺纹杆(2A)穿过；A配重块(2B)螺纹连接在A螺纹杆(2A)上；A支臂(2C)的一端和B支臂(2D)的一端固定在工作平台(9A)的下面板上，A支臂(2C)的另一端上固定有A螺纹杆(2A)的一端，B支臂(2D)另一端上固定有A螺纹杆(2A)的另一端；配平调节B单元(3)由B螺纹杆(3A)、B配重块(3B)、C支臂(3C)和D支臂(3D)组成；B配重块(3B)的中心设有螺纹通孔，该螺纹通孔用于B螺纹杆(3A)穿过；B配重块(3B)螺纹连接在B螺纹杆(3A)上；C支臂(3C)的一端和D支臂(3D)的一端固定在工作平台(9A)的下面板上，C支臂(3C)的另一端上固定有B螺纹杆(3A)的一端，D支臂(3D)另一端上固定有B螺纹杆(3A)的另一端；双轴柔性转动单元(4)由外环(4A)与设置在外环(4A)内部的内环(4B)，以及用于固定外环(4A)与内环(4B)的销钉组(4C)构成；所述外环(4A)包括A动刚体(4A1)、A中间刚体(4A2)与A静刚体(4A3)，分别位于上、中、下三个位置；所述内环(4B)包括B动刚体(4B1)、B中间刚体(4B2)与B静刚体(4B3)，分别位于上、中、下三个位置；在外环(4A)的AA面板(41)上设有AA簧片(411)，且AA簧片(411)用于实现A中间刚体(4A2)与A静刚体(4A3)的连接共体；在外环(4A)的AB面板(42)上设有AB簧片(421)，且AB簧片(421)用于实现A动刚体(4A1)与A中间刚体(4A2)的连接共体；在外环(4A)的AC面板(43)上设有AC簧片(431)，且AC簧片(431)用于实现A中间刚体(4A2)与A静刚体(4A3)的连接共体；在外环(4A)的AD面板(44)上设有AD簧片(441)，且AD簧片(441)用于实现A动刚体(4A1)与A中间刚体(4A2)的连接共体；AA簧片(411)与AC簧片(431)的倾斜方向相同，AB簧片(421)与AD簧片(441)的倾斜方向相同；在内环(4B)的BA面板(45)上设有BA簧片(451)，且BA簧片(451)用于实现B中间刚体(4B2)与B静刚体(4B3)的连接共体；在内环(4B)的BB面板(46)上设有BB簧片(461)，且BB簧片(461)用于实现B动刚体(4B1)与B中间刚体(4B2)的连接共体；在内环(4B)的BC面板(47)上设有BC簧片(471)，且BC簧片(471)用于实现B中间刚体(4B2)与B静刚体(4B3)的连接共体；在内环(4B)的BD面板(48)上设有BD簧片(481)，且BD簧片481用于实现B动刚体(4B1)与B中间刚体(4B2)的连接共体；BA簧片(451)与BC簧片(471)的倾斜方向相同，BB簧片(461)与BD簧片(481)的倾斜方向相同；AA簧片(411)与BA簧片(451)交叉布置、AB簧片(421)与BB簧片(461)交叉布置、AC簧片(431)与BC簧片(471)交叉布置、AD簧片(441)与BD簧片(481)交叉布置；外环(4A)上的AA面板(41)、AC面板(43)上倾斜设置的AA簧片(411)与AC簧片(431)的倾斜方向相同，且相互对称，使簧片(411、431)具有绕空间直角坐标系O(x、y、z)中Y轴转动的自由度；同理，内环(4B)上的BA面板(45)、BC面板(47)上倾斜设置的BA簧片(451)与BC簧片(471)的倾斜方向相同，且相互对称，使簧片(451、471)具有绕空间直角坐标系O(x、y、z)中Y轴转动的自由度；外环(4A)上的AB面板(42)、AD面板(44)上倾斜设置的AB簧片(421)与AD簧片(441)的倾斜方向相同，且相互对称，使簧片(421、441)具有绕空间直角坐标系O(x、y、z)中X轴转动的自由度；同理，内环(4B)上的BB面板(46)、BD面板(48)上倾斜设置的BB簧片(461)与BD簧片(481)的倾斜方向相同，且相互对称，使簧片(461、481)具有绕空间直角坐标系O(x、y、z)中X轴转动的自由度；动刚体(4A1、4B1)底面与中间刚体(4A2、4B2)顶面间存在上间隙(4E)，中间刚体(4A2、4B2)底面与静刚体(4A3、4B3)顶面间存在下间隙(4F)；机械限位单元(5)包括有四个结构相同的A限位组件(5A)、B限位组件(5B)、C限位组件(5C)和D限位组件(5D)、以及中间横板(5E)；其中，A限位组件(5A)由A限位柱(5A2)、A锁紧螺母(51A)、A锁紧螺钉(52A)和A螺钉(53A)组成，A锁紧螺钉(52A)的一端螺纹连接在A限位柱(5A2)一端的CA螺纹孔(5A1)中，A锁紧螺钉(52A)的另一端螺纹连接A锁紧螺母(51A)，A锁紧螺母(51A)的另一端通过一螺钉安装在工作平台(9A)的底部，A螺钉(53A)穿过中间横板(5E)的CA通孔(5E1)后螺纹连接在A限位柱(5A2)的另一端的螺纹孔中；其中，B限位组件(5B)由B限位柱(5B2)、B锁紧螺母(51B)、B锁紧螺钉(52B)和B螺钉(53B)组成，B锁紧螺钉(52B)的一端螺纹连接在B限位柱(5B2)一端的CB螺纹孔(5B1)中，B锁紧螺钉(52B)的另一端螺纹连接B锁紧螺母(51B)，B锁紧螺母(51B)的另一端通过一螺钉安装在工作平台(9A)的底部，B螺钉(53B)穿过中间横板(5E)的CB通孔(5E2)后螺纹连接在B限位柱(5B2)的另一端的螺纹孔中；其中，C限位组件(5C)由C限位柱(5C2)、C锁紧螺母(51C)、C锁紧螺钉(52C)和C螺钉(53C)组成，C锁紧螺钉(52C)的一端螺纹连接在C限位柱(5C2)一端的CC螺纹孔(5C1)中，C锁紧螺钉(52C)的另一端螺纹连接C锁紧螺母(51C)，C锁紧螺母(51C)的另一端通过一螺钉安装在工作平台(9A)的底部，C螺钉(53C)穿过中间横板(5E)的CC通孔(5E3)后螺纹连接在C限位柱(5C2)的另一端的螺纹孔中；其中，D限位组件(5D)由D限位柱(5D2)、D锁紧螺母(51D)、D锁紧螺钉(52D)和D螺钉(53D)组成，D锁紧螺钉(52D)的一端螺纹连接在D限位柱(5D2)一端的CD螺纹孔(5D1)中，D锁紧螺钉(52D)的另一端螺纹连接D锁紧螺母(51D)，D锁紧螺母(51D)的另一端通过一螺钉安装在工作平台(9A)的底部，D螺钉(53D)穿过中间横板(5E)的CD通孔(5E4)后螺纹连接在D限位柱(5D2)的另一端的螺纹孔中；中间横板(5E)上设有用于A螺钉(53A)穿过的CA通孔(5E1)、用于B螺钉(53B)穿过的CB通孔(5E2)、用于C螺钉(53C)穿过的CC通孔(5E3)、用于D螺钉(53D)穿过的CD通孔(5E4)、用于安装Y轴A调节板(6A6)的AA支臂(6A6A)的CA凸块(5E5)、用于安装Y轴B调节板(6B6)的BA支臂(6B6A)的CB凸块(5E6)、用于传感器的连杆(7B)穿过的中心通孔(5E7)；中间横板(5E)的底面板上设有用于安装套筒底座组件(8)中套筒(8A)上端的环形限位槽(5E8)；套筒(8A)下端安装在底座(8B)上；工作平台A驱动单元(6A)由A电机、X轴A调节板(6A5)、Y轴A调节板(6A6)和Z轴A调节板(6A4)组成；其中，X轴A调节板(6A5)上设有AA限位槽(6A5A)、AB限位槽(6A5B)、AA凹槽(6A5C)，AA限位槽(6A5A)用于E螺钉(6A5D)穿过，AB限位槽(6A5B)用于F螺钉(6A5E)穿过，AA凹槽(6A5C)用于放置Z轴A调节板(6A4)；其中，Y轴A调节板(6A6)上设有AA支臂(6A6A)、AB支臂(6A6B)，AA支臂(6A6A)上设有用于F螺钉(6A5E)穿过的通孔，AB支臂(6A6B)上设有用于G螺钉(6A6C)穿过的AC限位槽(6A6D)；其中，Z轴A调节板(6A4)上设有U形开口(6A4A)和用于E螺钉(6A5D)穿过的通孔；A电机动子(6A1)固定在工作平台(9A)的底部，A电机定子(6A2)置于A电机动子(6A1)的套内，A电机定子(6A2)通过A电机端盖(6A3)固定在Z轴A调节板(6A4)的开口端面板(6A4B)上，Z轴A调节板(6A4)安装在X轴A调节板(6A5)的AA凹槽(6A5C)内，且通过E螺钉(6A5D)固定，X轴A调节板(6A5)通过F螺钉(6A5E)安装在Y轴A调节板(6A6)的AA支臂(6A6A)上，Y轴A调节板(6A6)通过G螺钉(6A6C)安装在中间横板(5E)的CA凸块(5E5)上；工作平台B驱动单元(6B)由B电机、X轴B调节板(6B5)、Y轴B调节板(6B6)和Z轴B调节板(6B4)组成；其中，X轴B调节板(6B5)上设有BA限位槽(6B5A)、BB限位槽(6B5B)、BA凹槽(6B5C)，BA限位槽(6B5A)用于H螺钉(6B5D)穿过，BB限位槽(6B5B)用于I螺钉(6B5E)穿过，BA凹槽(6B5C)用于放置Z轴B调节板(6B4)；其中，Y轴B调节板(6B6)上设有BA支臂(6B6A)、BB支臂(6B6B)，BA支臂(6B6A)上设有用于I螺钉(6B5E)穿过的通孔，BB支臂(6B6B)上设有用于J螺钉(6B6C)穿过的BC限位槽(6B6D)；其中，Z轴B调节板(6B4)上设有U形开口(6B4A)和用于H螺钉(6B5D)穿过的通孔；B电机动子(6B1)固定在工作平台(9A)的底部，B电机定子(6B2)置于B电机动子(6B1)的套内，B电机定子(6B2)通过B电机端盖(6B3)固定在Z轴B调节板(6B4)的开口端面板(6B4B)上，Z轴B调节板(6B4)安装在X轴B调节板(6B5)的BA凹槽(6B5C)内，且通过H螺钉(6B5D)固定，X轴B调节板(6B5)通过I螺钉(6B5E)安装在Y轴B调节板(6B6)的BA支臂(6B6A)上，Y轴B调节板(6B6)通过J螺钉(6B6C)安装在中间横板(5E)的CB凸块(5E6)上；位移传感单元(7)包括有位移传感器(7A)和连杆(7B)，连杆(7B)的上端固定在工作平台(9A)的底部，连杆(7B)的下端为U形叉(7B1)，U形叉(7B1)上固定有位移传感器(7A)的光源发射端(7A1)，位移传感器(7A)的光源接收端(7A2)安装在底座(8B)的C环形凹槽(8B4)中；套筒底座组件(8)由套筒(8A)和底座(8B)构成，套筒(8A)的上端面板(8A1)上设有用于安装IA螺钉(8A2)的螺纹孔，套筒(8A)的下端面板上设有用于安装IB螺钉(8A3)的螺纹孔，套筒(8A)体上设有观察窗(8A4)；底座(8B)上设有用于安装位移传感器的C环形凹槽(8B4)、用于安装套筒(8A)下端的B环形凹槽(8B3)、用于IC螺钉(8B2)穿过的IA通孔(8B1)；所述B环形凹槽(8B3)上设有用于IB螺钉(8A3)穿过的通孔；套筒(8A)的上端安装在中间横板(5E)底部的环形凹槽(5E8)中，且通过IA螺钉(8A2)实现固定；套筒(8A)的下端安装在底座(8B)的B环形凹槽(8B3)中，且通过IB螺钉(8A3)实现固定；底座(8B)通过IC螺钉(8B2)固定在隔振平台(10)的上面板上。