VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KAPAZITIVEN ULTRASCHALLWANDLERS UND ANORDNUNG EINER MEHRZAHL VON KAPAZITIVEN ULTRASCHALLWANDLERN

摘要

Verfahren (100) zum Herstellen eines kapazitiven Ultraschallwandlers (200), mit folgenden Schritten: Bereitstellen (110) eines Substrats (205) mit einer ersten Elektrodenschicht (210) und einer Oberfläche (202), in der eine Ausnehmung (222) oberhalb der ersten Elektrodenschicht (210) gebildet ist; Füllen (140) der Ausnehmung (222) mit einem Opfermaterial (230); Aufbringen (150) einer zweiten Elektrodenschicht (240) auf die Oberfläche (202) inklusive dem Opfermaterial (230), so dass sich die erste und die zweite Elektrodenschicht (210, 240) über das Opfermaterial (230) gegenüberliegen; und Entfernen (170) des Opfermaterials (230) unter Verwendung einer Öffnung (242); wobei das Aufbringen (150) der zweiten Elektrodenschicht (240) so durchgeführt wird, dass sich eine mechanische Spannung in der zweiten Elektrodenschicht (240) ausbildet, so dass sich nach dem Entfernen (170) des Opfermaterials (230) ein Abschnitt (245) der zweiten Elektrodenschicht (240) durch Relaxation der mechanischen Spannung und unter Erfüllung des Eulerschen Knick-Kriteriums in Richtung des Substrats (205) bewegt und an das Substrat (205) oder an eine auf dem Substrat (205) befindliche Zwischenschicht (212) angrenzt, so dass ein kollabierter Zustand des kapazitiven Ultraschallwandlers (200) erhalten wird.