发明名称 酸化ニッケルを含むゲートを有する半導体デバイス及びその作製方法
摘要 Schottky barrier semiconductor devices are provided including a wide bandgap semiconductor layer and a gate on the wide bandgap semiconductor layer. The gate includes a metal layer on the wide bandgap semiconductor layer including a nickel oxide (NiO) layer. Related methods of fabricating devices are also provided herein.
申请公布号 JP6014023(B2) 申请公布日期 2016.10.25
申请号 JP20130510130 申请日期 2011.05.03
申请人 クリー インコーポレイテッドCREE INC. 发明人 ミエチュコウスキー ヴァン;ハグライトナー ヘルムート;ハバーアーン ケヴィン
分类号 H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812;H01L29/872 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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