发明名称 |
酸化ニッケルを含むゲートを有する半導体デバイス及びその作製方法 |
摘要 |
Schottky barrier semiconductor devices are provided including a wide bandgap semiconductor layer and a gate on the wide bandgap semiconductor layer. The gate includes a metal layer on the wide bandgap semiconductor layer including a nickel oxide (NiO) layer. Related methods of fabricating devices are also provided herein. |
申请公布号 |
JP6014023(B2) |
申请公布日期 |
2016.10.25 |
申请号 |
JP20130510130 |
申请日期 |
2011.05.03 |
申请人 |
クリー インコーポレイテッドCREE INC. |
发明人 |
ミエチュコウスキー ヴァン;ハグライトナー ヘルムート;ハバーアーン ケヴィン |
分类号 |
H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812;H01L29/872 |
主分类号 |
H01L21/338 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|