| 摘要 |
1. Производственная установка для осаждения материала на несущую подложку, имеющую находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутая установка содержит: ! корпус, образующий камеру; ! впуск, образованный через упомянутый корпус, для введения газа в камеру; ! выпуск, образованный через упомянутый корпус, для отведения газа из камеры; ! по меньшей мере один электрод, имеющий внешнюю поверхность, имеющую область контакта, приспособленную контактировать с контактным гнездом, причем упомянутый электрод расположен проходящим через упомянутый корпус, причем упомянутый электрод по меньшей мере частично расположен внутри камеры для соединения с контактным гнездом; ! источник питания, соединенный с упомянутым электродом, для снабжения электрическим током упомянутого электрода и ! покрытие области контакта, расположенное на упомянутой области контакта упомянутого электрода, для сохранения теплопроводности между упомянутым электродом и контактным гнездом, причем упомянутое покрытие области контакта имеет электропроводность по меньшей мере 9×106 См/м и сопротивление коррозии, большее, чем у серебра в ряду электродных потенциалов, основанном на использовании морской воды комнатной температуры в качестве электролита. ! 2. Производственная установка по п.1, при этом упомянутый электрод дополнительно включает в себя: ! ствол, имеющий первый конец и второй конец; и ! головку, расположенную на одном из упомянутых концов упомянутого ствола. ! 3. Производственная установка по п.2, при этом упомянутая головка упомянуто� |
