用于腔室狭缝阀及Ｉ／Ｏ之整合式局部基板中心搜寻器的方法及设备

摘要

本发明系提供用来定位基板中心的系统及设备。本发明包含：一框架，装设在基板处理设备之一狭缝阀组件和一传送腔室壁之间；至少一发射器，容设在该框架内，并适于发射一讯号；至少一感测器，容设在该框架内，并适于接收发射的该讯号；以及一控制器，适于基于该感测器所接收到的讯号来判定一基板之中心。本发明提供多种其他实施态样。