发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICES ON A GROUP IV SUBSTRATE WITH CONTROLLED INTERFACE PROPERTIES AND DIFFUSION TAILS
摘要
申请公布号 PT2050124(E) 申请公布日期 2012.05.28
申请号 PT20070763924T 申请日期 2007.07.19
申请人 CYRIUM TECHNOLOGIES INCORPORATED 发明人 NORBERT PUETZ;SIMON FAFARD;JOSEPH RENE BRUNO RIEL
分类号 H01L21/20;H01L21/3205;H01L29/12;H01L33/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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