发明名称 |
Elektrostatische Haltevorrichtung und Herstellungsverfahren für eine elektrostatische Haltevorrichtunq |
摘要 |
Elektrostatische Haltevorrichtung, welche so angepasst ist, dass sie die Johnsen-Rahbek-Kraft einsetzt, und welche umfasst: einen Grundkörper; eine auf dem Grundkörper ausgebildete Elektrode; und eine auf der Elektrode ausgebildete dielektrische Schicht bestehend aus einem gesinterten Yttriumoxidkörper, der Siliciumcarbid in einer Menge im Bereich von 10 bis 30 Vol.-% enthält und einen Volumenwiderstand bei Raumtemperatur im Bereich von 1 × 108 bis 1 × 1013 Ω·cm aufweist. |
申请公布号 |
DE102006000405(B4) |
申请公布日期 |
2016.11.17 |
申请号 |
DE20061000405 |
申请日期 |
2006.08.18 |
申请人 |
NGK Insulators, Ltd. |
发明人 |
Aihara, Yasufumi;Matsuda, Hiroto |
分类号 |
C04B35/505;C04B35/645;H01L21/67 |
主分类号 |
C04B35/505 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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