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发明名称 Coating method and coating system
摘要
申请公布号 EP1118390(B1) 申请公布日期 2005.03.23
申请号 EP20000124082 申请日期 2000.11.06
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KODERA, YASUTO;KOBAYASHI, FUMIKAZU;FURUSAWA, TOSHINORI
分类号 B05C5/02;B05C9/12;B05C11/10;B05D1/26;G03F7/16;H01L21/00;(IPC1-7):B05D1/26;B05D3/00 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
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