生产光学波导的方法

摘要

本发明提供了一种生产光学波导的方法，其包括以下步骤：连续地涂覆芴衍生物层到连续基片上，并固化该层从而形成下部包层；连续地涂覆光敏性芴衍生物层到下部包层上；通过具有预定图案的光掩模连续地曝光涂覆了的光敏性芴衍生物层；连续地对曝光了的光敏性芴衍生物层进行曝光后加热；连续地显影加热的光敏性芴衍生物层以除去其中未曝光的区域，从而形成预定的图案；固化显影了的光敏性芴衍生物层，从而在下部包层上形成具有预定图案的芯层；和在下部包层上连续地涂覆芴衍生物层，以覆盖芯层，并固化芴衍生物层从而形成上部包层。

主权项

1.一种生产光学波导的方法，其包括以下步骤：连续地将芴衍生物层涂覆到长片型平条形式的连续基材上，并固化该层从而形成下部包层；连续地将光敏性芴衍生物层涂覆到该下部包层上；通过具有预定图案的光掩模连续曝光涂覆了的光敏性芴衍生物层；连续对曝光了的光敏性芴衍生物层进行曝光后加热；连续显影加热后的光敏性芴衍生物层以除去其中未曝光的区域，从而形成预定图案；固化显影后的光敏性芴衍生物层，从而在下部包层上形成具有预定图案的芯层；和连续地将芴衍生物层涂覆到下部包层上以覆盖芯层，并固化芴衍生物层从而形成上部包层。