| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltung, umfassend eine Vielzahl von Säulen, bereit, aufweisend die Schritte: Ausbilden einer Vielzahl von ersten Gräben in einer ersten Schicht, aufweisend ein erstes Material, wobei dadurch eine Vielzahl von Lamellen des ersten Materials zwischen den Gräben übrig gelassen wird; Ausbilden einer Füllung, aufweisend ein zweites Material in den ersten Gräben; Ausbilden iener Vielzahl von zweiten Gräben in der ersten Schicht und der Füllung, wobei die zweiten Gräben Seitenwände aufweisen, wobei erste Teile der Seitenwände das erste Material freilegen und zweite Teile der Seitenwände das zweite Material freilegen; und Entfernen entweder des ersten oder des zweiten Material selektiv zu dem entsprechenden anderen Material, wobei dadurch die Säulen des übrigen Materials übrig gelassen werden. Die Erfindung stellt auch eine entsprechende integrierte Schaltungszwischenanordnung bereit.
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