コールドヘッド、超電導磁石、検査装置、およびクライオポンプ

摘要

コールドヘッドのステージに対する蓄冷材粒子の充填率を高めつつ、冷媒ガスの通気性の低下を抑制する。蓄冷材粒子群と、蓄冷材粒子群を区分けする金属メッシュ材とを備えるステージを具備するコールドヘッドであって、金属メッシュ材は、長辺の長さが蓄冷材粒子群の平均粒径の１／１０以上１／２以下である四角形状のメッシュ穴を有する。