| 摘要 |
이 Ag 합금막은, In 을 0.1 질량％ 이상 1.5 질량％ 이하, Cu 를 1 질량ppm 이상 50 질량ppm 이하 함유하고, 잔부가 Ag 와 불가피 불순물로 이루어진다. 이 스퍼터링 타겟은, In 을 0.1 질량％ 이상 1.5 질량％ 이하, Cu 를 1 질량ppm 이상 50 질량ppm 이하 함유하고, 잔부가 Ag 와 불가피 불순물로 이루어지고, 산소 농도가 50 질량ppm 미만이고, 스퍼터면의 면적이 0.25 ㎡ 이상이며, Cu 의 면내 농도 분포 D(= (σ/μ) × 100) 가 40 ％ 이하이다. |
