一种有机电致发光器件的制备方法

摘要

本发明设计一种有机电致发光器件的制备方法。在器件的第一电极图形上制备具有上大下小的倒梯形绝缘柱(隔离柱),然后依次蒸镀有机层和金属层,由于绝缘柱的阴影效应使器件的第二电极被有效地分割开来。倒梯形绝缘柱通过两次旋转涂覆绝缘聚合物薄膜、一次曝光、两次显影制备而成。此方法工艺简单、成本低、成品率高。

主权项

1、一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤：(1)在透明基板上淀积透明导电薄膜作为器件的第一电极，膜厚为20nm～250nm，导电膜的方块电阻为5Ω～70Ω，然后在透明导电薄膜上光刻出一组相互平行且分割开的直线条，使第一电极的宽度为50μm～1.5mm，电级之间的间隙为5μm～120μm；(2)在上述第一电极及电级之间的间隙上同时旋转涂覆第一绝缘层，第一绝缘层的膜厚为1μm～5μm，在70℃～300℃下烘烤10min～60min；(3)在上述第一绝缘层上继续旋转涂覆第二绝缘层，第二绝缘层的膜厚为0.5μm～3μm，在70℃～300℃下烘烤10min～60min；(4)对上述第二绝缘层进行光刻，形成与上述透明第一电极相正交的多个互相平行的直线条，其中显影时间为30s～2min，使第二绝缘层的宽度为5μm～120μm，间隙为50μm～1.5mm，在70℃～300℃下烘烤10min～40min；(5)以上述第二绝缘层的图形为掩膜，对第一绝缘层显影，形成与上述透明第一电极相正交的多个互相平行的直线条，显影时间为30s～2min，使第一绝缘层的边缘比第二绝缘层的边缘向内收缩1μm～20μm，得到上大下小的倒梯形隔离柱，隔离柱的宽度为3μm～110μm，间隙为60μm～1.6mm，对上述两绝缘层进行烘烤，烘烤温度为70℃～300℃，时间为10min～60min；(6)在上述第二绝缘层上及去除了两绝缘层的透明导电薄膜和透明导电薄膜线条间隙之上蒸镀有机层，有机膜的蒸镀速率为0.1nm/s～0.5nm/s；(7)在上述有机层之上蒸镀金属层作为器件的第二电极，金属膜的蒸镀速率为0.2nm/s～1.5nm/s，即为有机电致发光器件。