| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen von Oberflächenmikromechanikstrukturen mit hohem Aspektverhältnis, bei dem zwischen einem Substrat (30) und einer Funktionsschicht (10) zumindest eine Opferschicht (20) vorgesehen wird, wobei in der Funktionsschicht (10) durch einen Palsma-Ätzprozess Gräben (60, 61) vorgesehen werden, von denen zumindest einige Oberflächenbereiche (21, 22) der Opferschicht (20) freilegen. Erfindungsgemäss ist vorgesehen, dass zur Vergrösserung des Aspektverhältnisses der Gräben zumindest abschnittsweise auf den Seitenwände der Gräben, nicht jedoch auf den freigelegten Oberflächenbereichen (21, 22) der Opferschicht (20), eine weitere Schicht (70) abgeschieden wird. Weiterhin betrifft die Erfindung einen, insbesondere eine Beschleunigungs- oder Drehratensensor.</p> |
