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经营范围
发明名称
Methods and apparatus for the manufacture of microstructures
摘要
申请公布号
GB0511976(D0)
申请公布日期
2005.07.20
申请号
GB20050011976
申请日期
2005.06.13
申请人
SPEAKMAN, STUART P
发明人
分类号
G03F1/00;G03F7/34;H01L21/336;H01L21/77;H01L29/49;H01L29/786;H05K3/00;H05K3/06
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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