发明名称 Methods and apparatus for the manufacture of microstructures
摘要
申请公布号 GB0511976(D0) 申请公布日期 2005.07.20
申请号 GB20050011976 申请日期 2005.06.13
申请人 SPEAKMAN, STUART P 发明人
分类号 G03F1/00;G03F7/34;H01L21/336;H01L21/77;H01L29/49;H01L29/786;H05K3/00;H05K3/06 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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