光掩模传送方法

摘要

本发明提供一种光掩模传送支撑座及其传送方法。光掩模传送支撑座包括支撑基座用来容纳光掩模，多个支撑点用来支撑光掩模及多个固定架用来固定光掩模。各支撑点由软性塑胶材质组成椭圆形结构，并可调整位置避免在光掩模背面刮痕。各固定架内侧为倾斜面，可在载入光掩模时自动固定光掩模位置。其方法：将光掩模传送支撑座与光掩模盒放置于光掩模储存机台的载入平台上；利用光掩模夹将光掩模置入光掩模传送支撑座中的支撑座上，由各固定架内侧将光掩模侧面限定，以使置入光掩模的位置能迅速自动固定；利用设置在光掩模储存机台上机械手臂将光掩模载出光掩模传送支撑座；及利用机械手臂将光掩模传至光掩模盒中。

主权项

1.一种光掩模传送方法，包括有：将一光掩模传送支撑座与一光掩模盒放置于一光掩模储存机台(reticlestocker)的载入平台(load port)上；其中该光掩模传送支撑座包括多个固定架，该每个固定架的内侧为一倾斜面，该每个固定架均设置于该支撑基座的边缘部分，用以固定该光掩模的侧面位置；利用一光掩模夹将一光掩模置入该光掩模传送支撑座中的支撑座上，由该多个固定架的内侧将光掩模的侧面限定，以使置入该光掩模的位置能迅速自动固定；利用一设置在该光掩模储存机台上的机械手臂将该光掩模载出该光掩模传送支撑座；以及利用该机械手臂将该光掩模传送至该光掩模盒中。