发明名称 表面等离子体共振和石英晶体微天平传感器
摘要 一种传感器芯片组件,用于能够进行表面等离子体共振(SPR)和重量检测的传感器。所述组件包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的透明压电基底(1)。所述组件还包括分别设置于基底(1)第一和第二表面上的第一和第二薄膜金属电极(2,3)。第二薄膜金属电极(3)设置于所述基底(1)的第二表面上,从而光束可传播通过所述基底的第二表面并从第一薄膜金属电极反射。所述组件还包括与第二薄膜金属电极(3)相邻的衰减全反射(ATR)耦合器(11)。
申请公布号 CN101163957A 申请公布日期 2008.04.16
申请号 CN200480044409.8 申请日期 2004.09.15
申请人 新加坡科技研究局;马普科技促进协会 发明人 王光昱;苏小迪;沃尔夫冈·科诺;吴应举
分类号 G01N21/55(2006.01);G01N5/00(2006.01) 主分类号 G01N21/55(2006.01)
代理机构 北京安信方达知识产权代理有限公司 代理人 霍育栋;颜涛
主权项 1.一种用于能够进行表面等离子体共振(SPR)和重量检测传感器的传感器芯片组件,此组件包括:透明压电基底,具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;第一薄膜金属电极,设置于基底第一表面上;第二薄膜金属电极,设置于基底第二表面上,从而光束可传播通过所述基底的第二表面,并在第一薄膜金属电极上反射;以及衰减全反射(ATR)耦合器,与第二薄膜金属电极相邻。
地址 新加坡新加坡