| 摘要 |
광학 요소를 열적으로 컨디셔닝하는 방법은 방사선으로 상기 광학 요소를 조사하는 단계, 상기 방사선으로 상기 광학 요소를 조사하지 않는 단계, 컨디셔닝 유체 저장부 내에 유지된 컨디셔닝 유체와 상기 광학 요소 사이에 열 유동을 허용하는 단계, 및 상기 저장부에 열적으로 컨디셔닝된 유체를 공급하기 위해, 상기 컨디셔닝 유체의 유체 유동을 제공하는 단계를 포함한다. 상기 광학 요소의 조사 단계 동안의 상기 유체의 유속은 상기 광학 요소가 조사되지 않을 때의 상기 유체의 유속보다 느리다. |
