| 摘要 |
In verschiedenen Ausführungsformen ist eine Vorrichtung (100) für ein mikroelektromechanisches System geschaffen. Die Vorrichtung (100) für ein mikroelektromechanisches System kann einen Träger (102), eine Partikelfilterstruktur (106), die mit dem Träger (102) gekoppelt ist, wobei die Partikelfilterstruktur (106) ein Gitter umfasst, wobei das Gitter mehrere Gitterelemente umfasst, wobei jedes Gitterelement wenigstens ein Durchgangsloch umfasst, und eine Struktur (108, 110) für ein mikroelektromechanisches System, die auf einer Seite der Partikelfilterstruktur (106) gegenüber dem Träger (102) angeordnet ist, enthalten. Eine Höhe der mehreren Gitterelemente ist größer als eine Breite der entsprechenden Gitterelemente. |
