Flexible integrated monolithic circuit

摘要

Eine flexible, monolithische integrierte Schaltung, die im wesentlichen aus flexiblen Schaltungselementen, Verbindungselementen zwischen den flexiblen Schaltungselementen und einer flexiblen Beschichtung, die mindestens eine Schicht aus einem Beschichtungsmaterial, das ein Polymer enthält, besteht, eignet sich als kleine und handliche integrierte Schaltung für Elektronik auf flexiblen Datenträgern zur logistischen Verfolgung von Objekten und Personen

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen integrierten monolithischen Schaltung, bei dem integrierte monolithische Schaltungselemente und Verbindungselemente in und auf einem Halbleitersubstrat gebildet werden, die dem Halbleitersubstrat abgewandte Hauptoberfläche der integrierten Schaltungselemente mit einem Polymerharz beschichtet wird und das Halbleitersubstrat entfernt wird. Das Verfahren basiert auf den gängigen Verfahrensschritten der Halbleitertechnologie und führt in wenigen Verfahrensschritten zu einer flexiblen, integrierten monolithischen Schaltung