发明名称 Structure formed with template having nanoscale features
摘要
申请公布号 EP1580596(A3) 申请公布日期 2007.11.28
申请号 EP20050251732 申请日期 2005.03.22
申请人 HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. 发明人 STASIAK, JAMES W.;PETERS, KEVIN FRANCIS;KORNILOVICH, PAVEL
分类号 B81C99/00;G03F7/00;B41M3/00;B81B7/00;B82B1/00;C12Q1/68;H01L21/768 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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