发明名称 真空防回油结构
摘要 本实用新型涉及CCD检测设备技术领域,具体为一种真空防回油结构,其结构简单,能够有效防止真空泵中的油进入真空室,保证可靠的检测环境和检测结果,其包括真空滤油装置,所述真空滤油装置一端通过左侧卡箍连接挡板阀一端,所述挡板阀另一端连接真空光室,所述真空滤油装置另一端通过右侧卡箍连接中间连接管一端,所述中间连接管另一端连接真空泵的液插阀,所述真空滤油装置包括中空的金属管,所述金属管内安装有过滤网。
申请公布号 CN205333092U 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201521058891.2 申请日期 2015.12.18
申请人 无锡市金义博仪器科技有限公司 发明人 叶反修;史先春;沈永祥;沈永胜;叶春晖
分类号 G01D11/00(2006.01)I;F04B39/16(2006.01)I 主分类号 G01D11/00(2006.01)I
代理机构 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 代理人 顾朝瑞
主权项 一种真空防回油结构,其特征在于,其包括真空滤油装置,所述真空滤油装置一端通过左侧卡箍连接挡板阀一端,所述挡板阀另一端连接真空光室,所述真空滤油装置另一端通过右侧卡箍连接中间连接管一端,所述中间连接管另一端连接真空泵的液插阀,所述真空滤油装置包括中空的金属管,所述金属管内安装有过滤网。
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