| 摘要 |
잔류 가스 분석기(RGA)에서의 검출기는 빔라인을 따라 다운스트림 방향으로 이동하는 이온들을 수용하도록 구성되며 상기 빔라인으로부터 오프셋된 스티어링 전극을 포함한다. 제 1 이온-수용 전극은 적어도 부분적으로 상기 빔라인으로부터 스티어링 전극의 반대 측면 상에 있다. 제 2 이온-수용 전극은 적어도 부분적으로 상기 빔라인으로부터 오프셋되고, 적어도 부분적으로 상기 스티어링 전극의 적어도 일 부분으로부터 상기 빔라인에 걸치며, 적어도 부분적으로 상기 스티어링 전극의 적어도 일 부분의 업스트림이다. 차폐 전극은 적어도 부분적으로 상기 빔라인 및 상기 제 2 이온-수용 전극 사이에서 배열된다. 소스는 전위를 상기 차폐 전극에 인가한다. 잔류 가스 분석기(RGA)는 이온 소스, 분석기, 및 이러한 검출기를 포함한다. |
