| 摘要 |
한쪽의 압력센서의 환경온도와 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있고, 정확하고 안정한 압력측정을 할 수가 있는 차압식 유량계를 제공함과 동시에, 이 차압식 유량계를 이용한 유량 컨트롤러를 제공하는 것, 압력측정을 하는 유체가 흐르는 유체주유로가 형성된 바디와, 상기 유체 주유로에 대하여 직렬로 배치됨과 동시에, 상기 바디에 지지되는 2개의 압력센서를 구비하고, 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 상기 바디에 형성된 오목부내에 열전도성이 우수한 재료로 이루어지는 온도 밸런서가 수용되어 있다. |
