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포어라인(foreline) (배출 라인 또는 배기라인)과 연관된 배출물의 임피던스(impedance)를 측정하기 위한 시스템. 본 시스템은 원격 플라즈마 소스, 공정 챔버, 배출 라인, 전극 어셈블리, RF 드라이버, 검출기를 포함한다. 상기 원격 플라즈마 소스는 상기 공정 챔버에 연결하고, 챔버 클리닝 가스를 상기 공정 챔버에 공급할 수 있다. 상기 배출 라인은 상기 공정 챔버에 연결하고, 거기서 챔버 클리닝 배출물이 상기 배출 라인을 경유해서 상기 공정 챔버를 빠져 나온다. 상기 배출 라인에 위치한 전극 어셈블리는 상기 공정 챔버로부터 나오는 배출물에 노출된다. 상기 RF 드라이버에 연결된 전극 어셈블리가 상기 RF 드라이버로부터 RF 신호를 수신한다. 상기 전극 어셈블리에 인가된 RF 신호가 상기 전극 어셈블리 및 배출 라인 내 플라즈마 방전을 유도한다. 상기 전극 어셈블리에 연결된 검출기가 상기 공정 챔버의 챔버 세정의 종료점을 검출한다. |
