发明名称 CHROME MASK EQUIPPED WITH ELECTROSTATIC DISCHARGE STRUCTURE
摘要 본 발명은 정전기 배출 구조를 가지는 크롬 마스크에 관한 것으로서, PCB 노광 시 기판 상의 드라이 필름(dry film) 탈착에 따라 발생하는 정전기를 정전기 전도용 리드선(Lead Line)을 통해 배출할 수 있는 구조를 가지는 크롬 마스크를 제공함에 목적이 있다. 이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유리 또는 석영 기판, 상기 유리 또는 석영 기판 상에 형성되며 크롬이 증착되어 있는 프레임 영역과, 상기 프레임 영역 내부에 위치하는 메인칩 영역을 가지는 마스크에 있어서, 상기 크롬이 증착되는 프레임 영역의 외측 각 끝부분에서, 수직 또는 수평 방향으로 소정 개수의 정전기 전도용 리드선이 배열된 것을 특징으로 한다.
申请公布号 KR101652803(B1) 申请公布日期 2016.09.01
申请号 KR20140112372 申请日期 2014.08.27
申请人 (주)마이크로이미지 发明人 허봉회;최권일;장재필
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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