涂胶机

摘要

本申请公开了一种涂胶机，该涂胶机构造成减小当多个头单元彼此接近时喷嘴之间的X轴间距。这种涂胶机允许各种图案有效率地形成在基板上。

主权项

1.一种涂胶机，包括：头单元，所述头单元具有用于排出胶的喷嘴并且安装到头支撑件以便沿X轴方向水平移动；Y轴驱动单元，所述Y轴驱动单元设置在所述头单元上，包括用于产生沿Y轴方向的线性驱动力的直接驱动部分以及用于将所述喷嘴与所述直接驱动部分连接的连接部分，并且利用所述直接驱动部分的驱动力沿Y轴方向移动所述喷嘴；以及激光位移传感器，所述激光位移传感器设置在所述头单元上以测量基板与所述喷嘴之间的间距。