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发明名称 A CLEANING AGENT COMPOSITION FOR A POSITIVE OR A NEGATIVE PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP1468335(A1) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP20030701160 申请日期 2003.01.09
申请人 CLARIANT INTERNATIONAL LTD. 发明人 OH, SAE-TAE;KANG, DOEK-MAN;CHOI, KYUNG-SOO
分类号 C11D3/37;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00;G03F7/16;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 C11D3/37
代理机构 代理人
主权项
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