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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN VON RÖNTGEN- ODER EXTREMER UV- STRAHLUNG
摘要
申请公布号 DE69722609(T3) 申请公布日期 2009.04.23
申请号 DE19976022609T 申请日期 1997.04.25
申请人 JETTEC AB 发明人 HERTZ, M.;MALMQVIST, LARS;RYMELL, LARS;BERGLUND, MAGNUS
分类号 G21K5/00;H05G2/00;G03F7/20;G21K5/02;G21K5/08;H01L21/027;H05H1/00 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
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