SYNTHESIS OF SI-BASED NANO-MATERIALS USING LIQUID SILANES

摘要

입자 함유 박막 뿐만 아니라 나노입자(Si-NPs), 양자점(Si-QDs) 및 실리콘 나노결정(Si-NCs)과 같은 실리콘 입자를 생성시키는 장치 및 비증기압 의존적 방법이 개시된다. 액체 실란 조성물의 나노 또는 마이크로 스케일의 액적은 기상에서 열 또는 방사선으로 중합되어서 포집되는 입자를 생성한다. 액적 발생기로부터의 액적은 가열되거나 방사되는 반응존을 가진 유동 채널을 통과하여 포집기에서 포집되는 입자들을 생성한다. 액적의 유동은 가열될 수 있는 캐리어 또는 유동 가스들에 의해 도움을 받을 수 있다. 액체 실란 조설물 용액은 또한 금속, 비금속 또는 반금속 도펀트 및 용제를 구비할 수 있다. 입자 표면은 또한 부동태화되거나 기능화된다. 액체 실란의 입자 및 액적은 또한 입자 함유 박막을 생성하기 위해 공동 증착되고 가열될 수 있다.