| 发明名称 | 检查装置、检查方法、程序以及记录介质 | ||
| 摘要 | 检查装置对层叠有片状的光学部件的被检查体进行检查，该检查装置具有：带电部，其使光学部件带电；以及检查部，其对光学部件带电的状态下的被检查体进行检查。 | ||
| 申请公布号 | CN105934665A | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
| 申请号 | CN201580005275.7 | 申请日期 | 2015.02.19 |
| 申请人 | 欧姆龙株式会社 | 发明人 | 近藤正敬;北岛功朗;稻叶丰 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I;G01M11/00(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;金玲 |
| 主权项 | 一种检查装置，其对层叠有片状的光学部件的被检查体进行检查，该检查装置的特征在于，该检查装置具有：带电部，其使所述光学部件带电；以及检查部，其对所述光学部件带电的状态下的所述被检查体进行检查。 | ||
| 地址 | 日本国京都府京都市 | ||