FORMULIERUNG FÜR EINE VERBUNDPOLIERSCHICHT FÜR EIN CHEMISCH-MECHANISCHES POLIERKISSEN

摘要

Es wird ein chemisch-mechanisches Polierkissen bereitgestellt, enthaltend: eine Polierschicht, die eine Polieroberfläche aufweist, wobei die Polierschicht eine erste kontinuierliche nicht-flüchtige polymere Phase und eine zweite nicht-flüchtige polymere Phase umfasst, wobei die erste kontinuierliche nicht-flüchtige polymere Phase eine Mehrzahl von periodischen Vertiefungen aufweist, wobei die Mehrzahl von periodischen Vertiefungen von der zweiten nicht-flüchtigen polymeren Phase eingenommen wird, wobei die erste kontinuierliche nicht-flüchtige polymere Phase eine offenzellige Porosität von ≤ 6 Vol.-% aufweist, wobei die zweite nicht-flüchtige polymere Phase eine offenzellige Porosität von ≥ 10 Vol.-% enthält und wobei die Polieroberfläche zum Polieren eines Substrats angepasst ist.