发明名称 Formation of thin film resistors
摘要
申请公布号 SG68713(A1) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 SG19990001670 申请日期 1999.04.14
申请人 MICROCOATING TECHNOLOGIES, INC.;MORTON INTERNATIONAL, INC. 发明人 HUNT, ANDREW, T.;HWANG TZYY JIUAN;SHAO HONG;THOMAS JOE;LIN WEN-YI;SHOUP, SHARA, S.;LUTEN, HENRY, A.;MCENTRYRE JOHN ERIC;CARPENTER, RICHARD, W.;BOTTOMLEY, STEPHEN, E.;HENDRICK MICHELLE
分类号 C23C16/40;C23C16/453;H01C7/00;H01C17/20;H01C17/24;H01L21/02;H05K1/16;H05K3/06;(IPC1-7):H01L49/02;H01C1/012 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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