发明名称 |
介质阻挡分区放电通道装置 |
摘要 |
本实用新型公开一种介质阻挡分区放电通道装置,包括一个控制壳体,高频电源,供气源,放电主体等,其在一个控制壳体内部设有高频高压电源和气体管路,在壳体的正面设有控制开关,在控制壳体的上面设有上下两块平行的、带有水冷电极的、经过钢化的玻璃板,在上下玻璃板之间设有两个相同的绝缘板,该两个绝缘板与上下两块玻璃板围成一个长方体的通道,在上玻璃板的中部位置开有进气孔,在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极,称为上电极,在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极,称为地电极,在通道中的气体被电离形成等离子体,进而可以用来对穿过该通道的材料进行表面处理。 |
申请公布号 |
CN201018710Y |
申请公布日期 |
2008.02.06 |
申请号 |
CN200720003194.6 |
申请日期 |
2007.02.05 |
申请人 |
中国科学院光电研究院 |
发明人 |
王守国 |
分类号 |
H05H1/46(2006.01);H05H1/30(2006.01) |
主分类号 |
H05H1/46(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种介质阻挡分区放电通道装置,包括一个控制壳体,高频电源系统,供气源,等离子体放电主体,其特征在于:在一个控制壳体内部设有高频高压电源和气体流量计,在壳体的正面为系统控制板面,在壳体的上面设有上下平行的、带有水冷电极的、经过钢化的玻璃板,在上下玻璃板之间设有两个相同的绝缘板,该两个绝缘板与上下两块玻璃板围成一个长方体的通道,在上玻璃极板的中间位置设有进气孔,在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极,称为上电极,在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极,称为地电极。 |
地址 |
100010北京市东城区大取灯胡同2号(北京650信箱) |