用于制造电子元件和压力传感器的方法

摘要

本发明涉及一种电子元件、特别是用于压力和压差测量的电子传感器的制造方法。首先在晶片上形成电子元件的半导体结构。随后涂覆绝缘的氧化层。之后再淀积保护性的金属膜(6)，其中仅在晶片的某些区域内局部淀积金属膜(6)，在所述区域中不进行后续的例如通过机械方法所进行的分离。之后，将在晶片中这样构成的电子元件切分成单个元件。

主权项

1. 一种电子元件的制造方法，特别是用于压力和/或压差测量的电子传感器的制造方法，该方法包括：在晶片上首先形成电子元件(3)的半导体结构，随后涂覆至少一层绝缘层(5)，接着淀积至少一层保护性的金属膜(6)，随后将晶片切分成多个所述电子元件(3)，特别是传感器，其特征在于，仅在晶片不进行后续切分的区域中局部淀积金属膜(6)，或者在切分前至少去除晶片要进行后续切分的区域中的金属膜。