发明名称 |
硬质皮膜被覆工具及其制造方法 |
摘要 |
一种在由WC基超硬合金构成的基体上,直接通过化学气相沉积法形成碳氮化钛层而成的硬质皮膜被覆工具,其中,碳氮化钛层具有含有74~81质量%的钛、13~16质量%的碳和6~10质量%的氮的组成,碳氮化钛层具有由具有0.01~0.22μm的平均横截面直径的柱状晶粒构成的组织,从基体向碳氮化钛层内的W的扩散层的平均厚度为30~200nm,碳氮化钛层的(422)面的X射线衍射峰位置2θ处于122.7~123.7°的范围内。 |
申请公布号 |
CN104703734B |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201380051064.8 |
申请日期 |
2013.09.30 |
申请人 |
日立工具股份有限公司 |
发明人 |
福永有三;小关秀峰;久保田和幸;井上谦一 |
分类号 |
B23B27/14(2006.01)I;C23C16/36(2006.01)I |
主分类号 |
B23B27/14(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
葛凡 |
主权项 |
一种硬质皮膜被覆工具,其特征在于,其是在由WC基超硬合金构成的基体上,直接通过化学气相沉积法形成由碳氮化钛层构成的硬质皮膜而成的,(a)所述碳氮化钛层具有含有74~81质量%的钛、13~16质量%的碳和6~10质量%的氮的组成,(b)所述碳氮化钛层具有由具有0.01~0.22μm的平均横截面直径的柱状晶粒构成的柱状结晶组织,(c)从所述基体向所述碳氮化钛层内的W的扩散层的平均厚度处于30~200nm的范围内,并且(d)所述碳氮化钛层的(422)面的X射线衍射峰位置2θ处于122.7~123.7°的范围内。 |
地址 |
日本国东京都 |