摘要 |
Drahtführungsrolle (10, 20) für eine Drahtsäge zur Herstellung von Halbleiterscheiben mit einem rohrförmigen Mantel (12, 22) und zwei stirnseitig angeordneten Krafteinleitungselemente (11, 13, 21, 23), die jeweils mit dem Mantel (12, 22) verbunden sind, wobei zumindest eines der Krafteinleitungselemente (11, 13, 21, 23) eine Hirth-Verzahnung (2) zur Kraftübertragung vom Antrieb auf die Drahtführungsrolle (10, 20) aufweist. |