| 发明名称 |
Beleuchtungsoptik |
| 摘要 |
Zur Ausrichtung einer Beleuchtungsoptik (26) relativ zu einer Projektionsoptik (20) ist vorgesehen, eine Mess-Facette (7m; 11m) in ein Messfeld (32) abzubilden, wobei das Messfeld (32) in einer Objektebene (17) zumindest teilweise außerhalb eines Nutzfeldes (31) liegt. |
| 申请公布号 |
DE102016215300(A1) |
申请公布日期 |
2016.12.29 |
| 申请号 |
DE201610215300 |
申请日期 |
2016.08.17 |
| 申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Maul, Manfred;Baumer, Florian;Müller, Ulrich;Metalidis, Georgo |
| 分类号 |
G03F7/20;G01B11/24;G02B5/09;G02B17/06;G02B26/08;G02B27/32;G02B27/62 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
