电容式单质量块三轴加速度传感器及制备方法

摘要

一种电容式单质量块三轴加速度传感器及制备方法，其在一基片上形成有质量块区和梳齿结构区，质量块区包括第一导电层、处于第一导电层上且与基片具有支点连接的悬臂梁、分别连接于悬臂梁两侧且与所述第一导电层形成用于作为测量第一方向加速度的差分电容的第一活动块和第二活动块，所述梳齿结构区与所述质量块区同层面，其包括形成于第二活动块外侧用于测量第二方向加速度的第一组梳齿结构、对称形成在任意一活动块对应的两自由侧且用于测量第三方向加速度的第二组梳齿结构，且所述质量块区与所述梳齿结构区形成的组合区的重心偏离所述悬臂梁，由此可实现采用单一质量块形成的三轴加速度传感器来测量矢量加速度的功能。

主权项

1. 一种电容式单质量块三轴加速度传感器，其特征在于包括：基片，其包括衬底及生成在所述衬底上的介质绝缘层；质量块区，其包括生成在所述介质绝缘层上的第一导电层、处于所述第一导电层上方且与所述介质绝缘层呈支点连接的悬臂梁、与所述悬臂梁同层面且分别连接于所述悬臂梁两侧同时与所述第一导电层组成用于作为测量第一方向加速度的差分电容的第一活动块和第二活动块、在所述第一活动块和第二活动块表面具有多个用作腐蚀通道以及调节空气阻尼的释放孔；梳齿结构区，与所述质量块区同层面，其在所述第二活动块远离所述悬臂梁一侧且分别与所述第二活动块及所述介质绝缘层相连接同时用于测量第二方向加速度的第一组梳齿结构、对称形成在任意一活动块对应的两自由侧且分别与相应活动块及所述介质绝缘层相连接同时用于测量第三方向加速度的第二组梳齿结构，并使所述质量块区与所述梳齿结构区形成的组合区的重心离所述两自由侧的距离相等且其偏离所述悬臂梁，其中，所述第二及第三方向为所述质量块区所在层面的两个不同方向，所述第一方向不属于所述质量块区所在层面；信号输出区，包括分别与所述第一导电层、所述第一活动块、第二活动块、第一组梳齿结构及第二组梳齿结构电气连接以用于与外部信号处理电路相连接的各金属连接点。