使用加速度前馈的精确运动控制

摘要

本发明揭示一种高精度位置控制设备。一支撑于一参考框架(10)上的物件是通过一致动器(14)来移动。一位置传感器(16)产生一位置信号，且一固定至参考框架(10)的加速度传感器(24)产生一加速度信号。一控制系统响应于所述位置信号及所述加速度信号来控制致动器(14)移动所述物件，以便以降低的随动误差来遵循一所命令的轨道。

主权项

1、一种用于控制一支撑于一参考框架结构上的可移动物件的运动的设备，其包括：一用作一参考框架的结构；一可移动物件，其由所述结构支撑以便相对于所述结构运动；一致动器，其固定至所述结构以相对于所述结构移动所述可移动物件；一位置传感器，其可响应于所述可移动物件相对于所述参考框架结构的位置来产生一位置信号；一加速度传感器，其固定至所述参考框架结构以产生一加速度信号；及一控制系统，其可响应于所述位置信号及加速度信号来控制所述致动器移动所述物件以遵循一所命令的轨道。