整合式高真空抽吸系统

摘要

本发明涉及将具有与旁通管和阀门相关联的TMP的整合，从而形成单体子组件。将TMP的壳体有效地改进成可容纳构成高度真空系统所必要的相关设备。

主权项

1.一种用于气体传输的整合式真空抽吸系统，包括：具有用于连接到加工腔的一体式凸缘的壳体；位于所述壳体之内的空腔，所述空腔包括涡轮高真空泵；整合到所述壳体上并可移动地连接于所述壳体的入口阀，所述入口阀位于所述空腔内在所述涡轮高真空泵和所述加工腔之间的位置处；一体化地位于所述壳体内的旁通管，所述旁通管在沿着所述旁通管的多个位置与所述空腔阀连通，其中至少一个位置位于所述入口阀的任一侧；一体化地位于所述旁通管内的旁通阀，用于调节所述空腔和所述加工腔之间的旁通流量；以及一体化地位于壳体之内在距离所述旁通阀一段距离并靠近所述空腔的位置处的排气阀。