一种耐腐蚀超洁净加热装置

摘要

本实用新型涉及一种耐腐蚀超洁净加热装置，用于半导体行业的晶圆湿处理后的取干设备，包含防护层和加热单元，自下而上依序有导热隔离层、硅橡胶加热毯和硅橡胶保温层的复合层，被不锈钢板保护层包覆硅橡胶保温层上表面及复合层的四周侧面，在不锈钢板保护层外罩有敞口PP外壳。通过使用高纯度PP外壳和PTFE材质，可以满足特殊化学品的湿处理、取干一体化，达到减少工序流程；避免晶圆流转过程中产生二次污染；甩干及加热辅助取干不用分别进行，节约时间、提高效率；使用高纯PTFE导热隔离层，有隔离、耐腐蚀和无污染的特点，以满足现代半导体行业的降低污染、增加效率以及晶圆的高洁净度取干要求。

主权项

一种耐腐蚀超洁净加热装置，用于湿处理与取干一体化设备内，包含防护层和加热单元，其特征在于：自下而上依序有PTFE导热隔离层（5）、硅橡胶加热毯（4）和硅橡胶保温层（3）的复合层，被不锈钢板保护罩（2）包覆硅橡胶保温层（3）上表面及复合层的四周侧面，在不锈钢板保护罩（2）外罩有敞口PP外壳（1）。