发明名称 |
一种利于稳定转化率的反应装置 |
摘要 |
本发明公开一种涉及气态反应物(简称第一前驱物)和固态或液态反应物(简称第二前驱物)参与反应的反应装置,特殊的导流管和挡板结构,有利于反应物的充分接触,有效解决了第一前驱物利用率不高,第二前驱物消耗对第一前驱物转化率影响大等问题。高转化率有利于降低生产成本,稳定的反应率有利于降低工艺难度。 |
申请公布号 |
CN104178746B |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201410398217.2 |
申请日期 |
2014.08.13 |
申请人 |
东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学 |
发明人 |
赵红军;刘鹏;魏武;张俊业;毕绿燕;童玉珍;张国义 |
分类号 |
C23C16/34(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/34(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种利于稳定转化率的反应装置,包括顶壁、侧壁、底部,所述顶壁、侧壁和底部组成反应装置的外壁,其特征在于,还包括导流管、出口通道和挡板结构,所述导流管,与顶壁相连,导流管侧壁上分布有内外连通口;所述出口通道,与底部或顶壁相连;所述挡板,与顶壁和侧壁相连,将反应装置分隔为数个缓慢流动区和一个快速流动区,并在快速流动区与每一个缓慢流动区之间形成一个狭小通道,狭小通道流出方向在装置出口通道的圆周方向。 |
地址 |
523518 广东省东莞市企石镇科技工业园 |