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发明名称
ACTIVE-COOLED DISTRIBUTION PLATE FOR REDUCING REACTIVE GAS TEMPERATURE IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号
KR20010098812(A)
申请公布日期
2001.11.08
申请号
KR1020010021896
申请日期
2001.04.24
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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