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发明名称 DRY ETCHING DEVICE AND DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR20010098731(A) 申请公布日期 2001.11.08
申请号 KR1020010021030 申请日期 2001.04.19
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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