用电旁路元件减小电歪斜的等离子体反应器

摘要

本发明提供了用电旁路元件减小电歪斜的等离子体反应器。通过设置旁路电流路径来将RF接地返回电流从反应器室的非对称特征绕开。一种旁路电流路径避开了室底板中的泵送端口，并包括从侧壁向接地的基座基部延伸的导电对称格栅。另一种旁路电流路径避开了晶片狭缝阀，并包括导电带的阵列，导电带的阵列将狭缝阀占据的侧壁部分桥接。

主权项

1.一种等离子体反应器，包括：真空室，其具有圆筒状侧壁、顶盖以及底板；所述真空室中的工件支撑基座，其在所述基座与所述侧壁之间限定的泵送环，所述工件支撑基座包括与所述底板邻近的接地表面；射频功率施加器，以及所述顶盖与所述基座之间限定的处理区域；穿过所述底板的泵送端口；电介质元件，位于所述基座的所述接地表面与所述底板之间；以及环状导电格栅，位于所述泵送环中并隔着格栅至底板间隙设在所述底板上方，并提供了从所述侧壁至所述基座的所述接地表面的电流路径，所述格栅相对于所述室的对称轴大体上对称。