一种集成化的微型富集器系统及其制造方法

摘要

一种集成的微型富集器系统，包括干燥与净化器(1)、微型富集器(2)、隔膜阀(3)、微型加热器(4)、制冷器(5)，其中干燥与净化器(1)集成在微型富集器(2)之前，隔膜阀(3)集成在微型富集器(2)之后，而微型加热器(4)和制冷器(5)分别集成在微型富集器(2)的上下表面。以及一种微型干燥与净化器的制造方法和集成的微型富集器系统的制造方法。本发明的集成化微型富集器系统，不仅可以处理复杂的样品，而且可大幅提高富集效率，压缩色谱峰的峰展宽及减少拖尾程度；可以填充多种吸附材料，极大提高了其应用领域，可广泛应用到环境空气质量监测、装备内环境空气质量监测、智能电网以及石油勘探等领域。

主权项

一种集成化的微型富集器系统，包括干燥与净化器(1)和微型富集器(2)，其中所述干燥与净化器(1)包括干燥器和净化器，所述干燥与净化器(1)集成在所述微型富集器(2)之前；所述干燥器的沟道内基于MEMS技术加工出了两种不同结构的微型立柱，一种用于将液滴快速击碎雾化，另一种用于将雾化后的微细液滴快速汽化；所述集成化的微型富集器系统基于MEMS技术，利用硅基与玻璃基底加工而成；以及所述微型富集器(2)采用多通道、大通径的并行结构；其中，所述微型富集器沟道的宽度为0.4mm‑1mm，所述硅基底和玻璃基底上沟道的深度为0.3mm‑0.5mm；所述硅基底和玻璃基底密封后，沟道总深度为0.5mm‑1mm。