形成多孔膜的组合物、多孔膜及其形成方法、层间绝缘膜和半导体器件

摘要

使用常规的半导体工艺，提供一种可以形成多孔膜的涂布液，所述的多孔膜具有要求可控的厚度和优良的介电和力学性质。特别是，提供一种形成多孔膜的组合物，所述的组合物包括缩合产物和有机溶剂，其中在碱性催化剂存在下通过一种或多种由通式(1)：R¹_kSi(OR²)_4－k代表的硅烷化合物，和一种或多种由通式(2)：{X_j (Y)_3－jSi－(L)_m－}_nMZ_4－n代表的交联剂的水解和缩合得到缩合产物。而且，提供了制造多孔膜的方法，包括施加所述组合物的步骤以便形成膜，干燥膜和加热干燥的膜从而硬化膜，也提供了其它的信息。

主权项

1.一种包含缩合产物和有机溶剂用于形成多孔膜的组合物，其中在碱性催化剂存在下，通过如下组分的水解和缩合得到缩合产物：一种或多种由通式(1)：R1kSi(OR2)4-k代表的硅烷化合物，其中R1代表有1～8个碳原子的有机基团，以及当有二个或多个R1时，这些R1可以独立的，相同或不同；R2代表有1～4个碳原子的烷基，和当有二个或多个R2时，这些R2可以是独立的，相同或不同；k是0～3的整数；以及一种或多种由通式(2)：{Xj(Y)3-jSi-(L)m-}nMZ4-n代表的交联剂，其中X代表氢原子、卤原子或具有1～4个碳原子的烷氧基；Y代表氢原子、具有1～4个碳原子的烷基或苯基；Z代表氢原子、卤原子或具有1～4个碳原子的烷基、具有1～4个碳原子的烷氧基或苯基；L代表直链或支链具有1～6个碳原子的亚烷基、具有1～6个碳原子的链烯烃、具有1～6个碳原子的炔烯烃或亚苯基；M代表碳原子或硅原子；j是1～3的整数；m是0或1；和n是3或4。