使用图案化发射体的电子束光刻装置和发射体的制造方法

摘要

提供一种使用图案化发射体的电子束光刻装置和一种图案化发射体的制造方法，该图案化发射体具有作为掩模并容易构图的半导体薄膜。该装置包括离开基板支座一预定距离设置的热电发射体，该发射体包括具有在其表面上的介电板的热电板和在介电板上并面对基板支座的图案化半导体薄膜。当加热所述热电发射体时，从没有被图案化半导体薄膜覆盖的介电板中发射出电子。

主权项

1、一种用于提供图案的1∶1投影的电子束光刻装置，该装置包括：离开基板支座预定距离设置的热电发射体，该发射体包括具有在其表面上的介电板的热电板和在该介电板上并面对该基板支座的图案化半导体薄膜；加热所述热电发射体的加热源；以及设置在所述发射体和所述基板支座外部以便控制由该发射体发射的电子的路径的永磁铁或电磁铁。